日本原裝 magnescale 索尼 磁柵尺 BH25-RED 溫度膨脹系數(shù)
2024-12-16 11:34:41
fujino
BH25系列
磁柵尺
BH25-RED
BH25-NED
特點(diǎn)
信號波長250nm的高精度反射式激光尺。非常適合薄平臺、半導(dǎo)體后處理設(shè)備和精密顯微鏡。
信號波長：250nm
高精度：±1μm/420mm
高速響應(yīng)：1,800mm/s
最高分辨率：下午 3.8 點(diǎn)
陣容：有原產(chǎn)地、無原產(chǎn)地
完全非接觸：原則上不存在返回錯(cuò)誤。
刻度部分：零玻璃、無堿玻璃
厚度：12mm薄頭
兼容各種分辨率和輸出格式（BD96、BD700等，取決于插值器）
真空（特殊規(guī)格產(chǎn)品）
規(guī)格
| 型號名稱 | BH25-紅色 | BH25-NED |
| 有效長度（毫米） | 30/70/120/170/220/270/320/370/420/470/520/570/640 （零玻璃、無堿玻璃） | |
| 秤總長度 | 有效長度+26mm | |
| 最大可動(dòng)長度 | 有效長度+10mm | |
| 準(zhǔn)確度（20℃時(shí)） | ±0.5μm (30mm-170mm) ±1.0μm (220mm-420mm) | |
| 晶格間距 | 1.0μm | |
| 信號波長 | 0.25微米（250納米） | |
| 原點(diǎn)位置 | 1 分 | 沒有什么 |
| 原點(diǎn)檢測方向 | 單向 | - |
| 溫度膨脹系數(shù) | 0.1×10 -6 /℃（零玻璃） 3.7×10 -6 /℃（無堿玻璃） | |
| 光源 | 半導(dǎo)體激光器波長790nm 輸出6mW | |
| 檢測方法 | 衍射光柵掃描型 | |
| 工作溫度范圍 | 10℃～30℃（無凝露） | |
| 儲存溫度范圍 | -10℃至50℃（濕度必須低于60%） | |
| 最大響應(yīng)速度 | 1,800毫米/秒 | |
| 輸出信號 | 插補(bǔ)器連接等 | |
| 輸出分辨率 | 取決于插補(bǔ)器的劃分?jǐn)?shù) | |