KAIJO日本楷捷廣州代理，KAIJO日本楷捷總代理，KAIJO日本楷捷中國(guó)總代理
.KAIJO高頻超聲波清洗機(jī)HIMEGASONIC產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
Si圓片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盤清洗,石英
振蕩器清洗,薄膜磁頭清洗,脆性材料等的超精密超聲波清洗.
Haimega除去小于45納米時(shí)所需的超微粒、如半導(dǎo)體和液晶顯示器.
特點(diǎn)■振蕩器
●內(nèi)置
自診斷功能(CPU)可以反饋集中控制(RS485,D-NET),輸出的運(yùn)行狀態(tài),
可以與上位機(jī)進(jìn)行通信交流內(nèi)臟CPU.
●數(shù)字顯示輸出 的3位數(shù)字顯示,運(yùn)行狀態(tài)管理的管理,可以進(jìn)行高精度始終是可能的.
●較低的判斷功能,
可以執(zhí)行上的上限和下限的報(bào)警顯示,狀態(tài)顯示振蕩也有可能是觸點(diǎn)輸出.
●自動(dòng)跟蹤方法PLL頻率
深種溶液,液體：KAIJO自己PLL的方案,其振蕩頻率為自動(dòng)優(yōu)化
等(高達(dá)70度),有可能 發(fā)生變化的液體的溫度.
● 功率MOS FET的高效率振蕩,振蕩的高效率是可能的.
●損傷小,
可控制的精細(xì)圖案的最佳狀態(tài),我們應(yīng)對(duì)200/300mm晶圓清洗.
發(fā)振器配置
項(xiàng)目
規(guī)格
型號(hào)名稱
68101
78101
78102
輸出功率
600W
900W
900W
工作頻率
950KHZ
950KHZ
750KHZ
發(fā)振方式
VCO
頻率調(diào)整
自動(dòng)追尾PLL方式
工作顯示
3位七段LED顯示
遠(yuǎn)程控制機(jī)構(gòu)
有
使用環(huán)境溫度
0～40℃
使用環(huán)境濕度
0～80%
工作電源
AC200V 6A
AC200V 9.5A
AC200V 9.5A
外形尺寸
3200×5200×144
460×500×143
460×500×143
重量
約17㎏
約25㎏
振動(dòng)板配置
使用規(guī)格
6寸晶圓
8寸晶圓
12寸晶圓
振動(dòng)板規(guī)格
7857S
8857S
98SL
額定輸入
300Wx4
300Wx6
300Wx16
頻率
950kHz
950kHz
750kHz
振動(dòng)輻射面(mm)
136x163
165x215
275x319
振動(dòng)板材質(zhì)
SU316L
使用最高溫度
70℃
外形尺寸
185x215x55
255x305x55
410x340x65
固定方式
螺絲固定
特點(diǎn)■隔膜
●振動(dòng)元件是大P. Z.由于振動(dòng)元件T,有沒有不均勻清洗.
●非常高的功率密度,清潔能力非常出色.(5.4W /約2厘米)的
厚度,因?yàn)樗呛?br/>
●具有優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度,壽命長(zhǎng),省心,還內(nèi)置了洗滌槽.
●高效率聲幾乎沒有損失.
●少的接縫的裝置,最好的清洗效果可以預(yù)期.
●SU304,316,316 L為三種類型的材料是準(zhǔn)備就緒
特點(diǎn)■洗滌槽
●商品化的超聲波浴石英振子直接鍵合到石英容器.
相比傳統(tǒng)的雙室超聲波照射(1.2倍以上相比,我們的)強(qiáng).這是的唯一技術(shù)Kaijo.
●支持兩種類型的室溫(50℃最高),高溫(80℃最高)是可以使用的液體溫度.
●我們還生產(chǎn)不銹鋼水槽.
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